Эта группировка включает:
- производство башенных охладителей (градирен) и аналогичных установок для прямого охлаждения (без разделительной стенки) с помощью циркулирующей воды
- производство установок для быстрого нагрева полупроводниковых пластин
- производство установок для химического осаждения из паровой (газовой) фазы на полупроводниковые пластины
- производство установок для конденсации из паровой (газовой) фазы с помощью электронного луча или напыления на полупроводниковые пластины
- производство установок для вакуумного осаждения металла из паровой (газовой) фазы